• 無塵室空氣凈化設備規范要求

    admin 2019-11-06 12:11 閱讀


    無塵室空氣凈化設備標準要求
    無塵室內有多種工序時,應根據各工序的不同要求,采用不同的空氣潔凈度等級;在滿足人生產工藝(production engineering)要求的前提下,氣流組級別宜采用局部(part)工作區空氣凈化和全室空氣凈化組合的形式;層流無塵室和亂流無塵室以及運行班次和使用時間不同的,其凈化空氣調節系統均宜分開設置;潔凈區的清掃,宜采用移動式高效真空吸塵器或設置集中式真空吸塵系統,集中式真空吸塵系統的管道應暗敷。無塵室應保證一定的新鮮空氣量,其數值應取下列風量(定義:單位時間內空氣的流通量)中的最大值:亂流無塵室總送風量的10%-30%,層流無塵室總送風量的2%-4%,補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
    無塵室必須維持一定的正壓,不同等級的無塵室以及潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差,應不小于4.9Pa,潔凈區與室外的靜壓差,應不小于9.8Pa;送風、回風和排風系統的啟閉聯鎖,系統開啟時,聯鎖程序應為先啟動送風機(Draught Fan),再啟動回風機和排風機,系統關閉時,則聯鎖程序應相反;非連續運行的無塵室,可根據生產(Produce)工藝要求設置值班風機,并對新風進行處理。無塵室凈化最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵室。氣流組織的選擇應符合:潔凈工作區的氣流速度,應滿足空氣潔凈度和人體健康的要求,并應使潔凈工作區氣流流向單一;回風口宜均勻(jūn yún)布置在無塵室下部;余壓閥宜設在無塵室氣流的下風側,不宜設在潔凈工作區高度范圍內。亂流無塵室的送風量(定義:單位時間內空氣的流通量),應取下列規定的最大值:為控制室內空氣潔凈度所需的送風量;根據熱、濕負荷計算和稀釋(dilute)有害氣體所需的送風量;按空氣平衡所需要的送風量。當生產工藝(production engineering)僅要求在無塵室內局部工作區達到更高的空氣潔凈度時,其氣流組織設計應使潔凈氣流首先流經該工作區,或在無塵室的不同區域形成不同氣流流型和空氣潔凈度級別的潔凈工作區;無塵室內有局部排風裝置時,其位置(position )應設置工作區氣流的下風側。公司可提供無塵室、無塵車間的咨詢、規劃、設計、施工、安裝、改造等配套服務。
    確定集中式或分散式凈化空調系統時,應綜合考慮生產(Produce)工藝的特點和無塵室空氣的潔凈度等級、面積、位置等因素(factor),凡生產工藝(production engineering)連續(Continuity)、無塵室面積較大時,位置集中以及噪聲控制(control)和振動控制要求嚴格的無塵室,宜采用集中式凈化空氣調節系統;凈化空氣調節系統除直流式系統和設置值班風機(Draught Fan)的系統外,應采取防止室外污染空氣通過新風口滲入無塵室內的防倒灌措施;凈化空氣調節系統設計應合理利用回風,凡工藝過程產生大量有害物質且局部(part)處理不能滿足衛生要求,或對其他工序有危害事,則不應用回風。無塵車間不同級別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點:對于300000級空氣凈化處理,可采用亞高效過濾器代替高效過濾器;空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理,應采用初、中、高效過濾器三級過濾器。無塵室裝修亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。空氣過濾器(作用:過濾雜質等)的選用布置和安裝方式,應符合:初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空調系統的正壓段;高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設置在凈化空調系統的末端;中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風量(定義:單位時間內空氣的流通量)選用;高效空氣過濾器的安裝方式應簡便可靠,易于檢漏和更換;阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設置在同一無塵室內。送風機可按凈化空調系統的總送風量和總阻力值進行選擇,中效、高效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。
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